氣相法通常需要在高溫、溶漿機惰性氣體氛圍中進行，適用于制備金屬、半導體、碳化物、氮化物和氧化物等以易升華物質為原料的納米微粒、一維納米材料和納米陣列、納米薄膜。大多數氣相法屬于物理法，但也有部分屬于氣相化學反應。 （１）真空蒸發冷凝法 此方法是在高純惰性氣氛中（氬、氦、氮等），對物質進行真空加熱蒸發，蒸氣在氣體介質中冷凝形成超細微粒。在蒸發過程中，由原物質發出的原子由于與惰性氣體原子碰撞，使之迅速損失能量而冷卻，這種有效的冷卻過程在原物質蒸氣中造成很高的局域過飽和，這將導致均勻的成核過程，形成單個納米微粒。這種方法適用于制備金屬、過渡金屬氮化物、易升華離子化合物和氧化物等材料的納米微粒。１９８４年Ｇｌｅｉｔｅｒ制備金屬納米粒子即用此法。該法得到的納米微粒經過高壓壓制成型，可以得到三維納米塊材料，如１９８７年Ｓｉｅｇｌｅｓ用該法成功制備了ＴｉＯ納米陶瓷。２ （２）活性氫熔融金屬法 含有氫氣的等離子體與金屬間產生電弧，使金屬熔融，電離的Ｎ、Ａｒ等氣體和Ｈ溶入熔融金屬，然后
釋放出來，在氣體中形２２成了金屬的納米粒子。此法也可應用于制備納米陶瓷粒子。 （３）濺射法 此法是在陰陽電極間充Ａｒ氣，然后施加電壓，由于電極間的輝光放電使Ａｒ電離，在電場作用下Ａｒ離子沖擊陰極，使其表面原子蒸發出來形成納米粒子。適合制備各種熔點和多元組分的金屬納米微粒。此法也適合制備各種納米鑲嵌薄膜。 （４）流動液面上真空蒸度法 該法的原理是在高真空中蒸發的金屬原子在流動的油內形成納米粒子。產品為含大量納米粒子的糊狀油。該法制備的金屬納米粒子尺寸分布較窄并可調。 （５）通電加熱蒸發法 此法適合于制備金屬碳化物。原理是通過在惰性氣氛下，碳棒與金屬相接觸，加熱使金屬熔化，再與高溫碳發生反應生成。 （６）激光誘導化學氣相沉積（ＬＩＣＶＤ） 這種方法的基本原理是利用反應氣體分子（或光敏劑分子）對特定波長激光束的吸收，引起反應氣體分子激光光 ４３２第十一章 現代化學應用講座 解、激光熱解、激光光敏化和激光誘導化學合成反應，在一定工藝條件下，獲得納米粒子空間成核和生長。
該法具有清潔表面、粒子大小可調、粒度分布均勻等優點，適合于制備晶態或非晶態納米微粒。 （７）爆炸絲法 這種方法適用于工業上連續生產納米金屬、合金和金屬氧化物納米微粒，原理是融斷的金屬絲在高壓電場內放電形成蒸氣，在惰性氣體碰撞下形成納米微粒，這里的金屬絲可以通過供絲系統進行半連續生產。 （８）化學氣相凝聚法 此法是通過前驅物金屬有機分子熱解獲得納米微粒。利用惰性載氣攜帶金屬有機前驅物進入高溫爐，使爐內保持低壓狀態，原料熱解形成團簇，進而形成納米微粒。如以碳氫化合物為原料，則通過熱解也可以得到碳納米管。 （９）電弧放電法 １９９９１年Ｉｉｊｉｍａ首次制備多壁碳納米管使用的就是用碳棒做電極進行直流電弧放電的方法。以后有人以Ｆｅ或Ｃｏ為催化劑通過該法又合成了單壁碳納米管，在此以后，單壁碳納米管的陣列也由該法制備出。 （１０）碳納米管模板法 該法是以碳納米管為模板，通過與高溫氣體的反應，合成多種碳化物和氮化物的一維納米材料。１９９５年哈佛大學的戴宏杰提出了使用該法制備一維納米線的普適反應模式。
